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商品NO 1285 商品名 UHV圧力 コントロールバルブ(バタフライ) メーカー (株)スプリード 管理 (株)スプリード
型式 価格 商品問合せ
特徴 •弁体部が0〜90°可変することにより真空圧力制御を行うスロットルバルブです(バタフライ)
• キャパシタレスマノメータと併用する事により半導体等のプロセスにおいて高速応答、高再現性の真空圧力制
カタログ
仕様 カスタマイズ可
備考 管理NO